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抛光垫的分类以及抛光垫在抛光加工中的重要性

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抛光垫的分类以及抛光垫在抛光加工中的重要性

发布日期:2019-10-11 作者: 点击:

       抛光垫的分类以及抛光垫在抛光加工中的重要性

  抛光垫又称抛光皮,抛光布,抛光片,化学机械抛光中决定表面质量的重要辅料。

  抛光垫的作是是

  ①把抛光液有效均匀地输送到抛光垫的不同区域;

  ②将抛光后便化学反应充分进行;的反应物、碎屑等顺利排出,达到去除效果;

  ③维持抛光垫表面的抛光液薄膜, 以便化学反应充分进行;

  ④保持抛光过程的平稳、表面不变形, 以便获得较好的晶片表面形貌;抛光剂

  常见的几种抛光垫有

  1、毛巾毡垫。这种毛巾毡垫是用毛巾做的,由于毛巾毡垫价钱合适比较的便宜,所以被大量的运用在工作中,在选择毛巾毡垫的时候需要注意选择布料较厚的,这种毡垫的寿命会长一些,并且毛巾的纤维长,带有长毛的毡垫使用的时候效果会更好一些,一般在使用的时候不会留下磨痕。

  2、羊毛毡垫。羊毛毡垫与毛巾毡垫相比,羊毛毡垫与涂膜的接触的面积更大一些,所以羊毛毡垫在使用过程中的作业速度更快。

  3、海绵毡垫。近来,海绵毡垫比毛巾毡垫和羊毛毡垫的使用都多一些,由于现在聚氨酯料的大量运用于普及,使得人们对于海绵毡垫的认识更为广泛,并且这种毡垫和极细的超微粒研磨膏配合着使用可以达到非常好的效果,所以目前这种海绵毡垫的运用最为广泛。


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