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浅谈抛光垫以及背胶的用途

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浅谈抛光垫以及背胶的用途

发布日期:2018-01-11 作者: 点击:

抛光垫又称抛光皮,抛光布,抛光片,化学机械抛光中决定表面质量的重要辅料。

抛光垫 是用来抛光使用的。它的构造分为布和胶组成。抛光垫分为很多种,有绒布,尼龙,纤维,聚氨酯等等材料。抛光垫又叫抛光布,还可以称为抛光皮。它的作用有以下几点:

1. 把抛光液有效均匀地输送到抛光垫的不同区域;

2. 将抛光后便化学反应充分进行;的反应物、碎屑等顺利排出,达到去除效果;

3. 维持抛光垫表面的抛光液薄膜, 以便化学反应充分进行;

4. 保持抛光过程的平稳、表面不变形, 以便获得较好的晶片表面形貌;进口抛光剂

抛光垫分进口和国产,不管是进口还是国产都有带背胶与不带背胶之分,很多顾客在购买时不清楚背胶是干嘛用的,其实背胶是用来黏贴的。背胶是一种研磨过程 中必须的东西,他能将抛光垫和磨盘紧紧地黏贴在一起,从而起到稳固两者的作用,使之在平面研磨抛光机上的研磨过程中不会动,不会移位,间接地保证了研磨运 动的进行。


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